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應用領域 | 醫療衛生,食品,化工 |
半導體專用氮氣發生器(腔體保護氣,干泵吹掃氣)
型號:NITROGEN-M-100/200
Peculiar針對LC/MS氮氣流量、純度、壓力的特殊要求專門設計了安全、高效、方便的半導體專用氮氣發生器,它可以產生純度高達99.5%的潔凈、干燥氮氣,符合半導體行業腔體保護氣,干泵吹掃氣要求,包含APCI及ESI接口。
半導體專用氮氣發生器(腔體保護氣,干泵吹掃氣)主要技術參數:
◎流量:0-100/200L/min @100psi(7bar)
◎工作環境:5C-40℃ 濕度80%
◎使用最高海拔:2200m
◎露點:<-55℃
◎顆粒:<0.01μm
◎滯留液體:無
◎鄰苯二甲酸:無
◎噪聲:<47dB(A)
◎開機純化時間:30min
◎功率:8000W
◎電力要求:220V 50Hz